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CN三座標非接觸測量顯微鏡
| 工作臺行程 | 標配：X=150mm, Y=150mm, Z=100mm |
| 選配：X: 100mm～400mm;Y: 100mm～200mm;Z: 100mm-150mm | |
| 光學尺分辨率 | 標配：0.001mm閉式; 選配：0.0005mm閉式,0.0001mm開式 |
| 重復定位精度 | X,Y,Z: ≤0.0015mm |
| 重復調焦精度（倍率大于150X） | ≤0.0015mm |
| 系統不確定度 | 分辨率為0.001mm時：X,Y: （3.0+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
| 分辨率為0.0005mm時：X,Y: （1.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm | |
| 分辨率為0.0001mm時：X,Y: （0.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
| 部件名稱 | 規格（標配） | 選件 | 備注 | ||
| CCD工業攝像頭 | 彩色CCD（1/2”） | 黑白CCD（1/2”） | 復合或標準視頻 | ||
| 工業顯微鏡 | 連續變倍：1:10 1.5X物鏡 （50～500X） | 連續變倍：0.7-4.5X; 工業內照明高倍率長工作距顯微鏡，物鏡倍率：3X～100X | C-Mount接口 | ||
| 計算機系統 | 商用PC，98/2000/XP | 工業控制機 ,彩色噴墨打印機 | | ||
| 測量控制軟件 | TDYMS V60CNC | | | ||
| 底座 | 花崗石00級 | | | ||
| 照明光源 | 透 6V20W，反21V150W可調鹵素燈 | 外接照明 | | ||
| 工作臺行程 （測量范圍） | X:150mm,Y:150mm，Z:100mm | X:100-400mm，Y:100-200mm Z:100-200mm | Z軸帶有粗微調機構,以滿足不同高度工件的測量 （80mm 范圍） | ||
| 驅動方式 | X、Y、Z：CNC電動 | JOG控制盒 | | ||
| 驅動電機 | 三相步進電機 | 伺服電機 | | ||
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